电路类型

电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制

工作频率

40.68MHz±0.05％

频率稳定性

＜0.1%

输出功率

800W—1200W

800W—1500W

输出功率稳定性

＜0.3%

电磁场泄漏辐射强度

距机箱750px处电场强度E：＜2V/m

进样系统技术指标

输出工作线圈内径

25mm

矩管

三同心型，外径20mm的石英矩管

同轴型喷雾器外径

6mm

双筒形雾室外径

34mm

氩气流量计规格和载气压力表规格

等离子气流量计

（100-1000）L/h (1.6-16L/min)

辅助气流量计

（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)

载气流量计

（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)

氧气流量计

（0-100）ml/min（30-50ml/min）

载气稳压阀

（0-0.4MPa）

冷却循环水

水温20-25℃ 流量>5L/min 水压>0.1MPa

单色器技术指标

光路

Czerny-Turner

焦距

1000mm

光栅规格

离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm(可选用刻线密度2400线/mm)

离子刻蚀全息光栅，刻线密度4320线/mm

线色散率倒数

0.26nm/mm

分辨率

≤0.007nm(3600刻线）

≤0.015nm(2400刻线）

≤0.005nm(4320刻线）

扫描波长范围

3600线/mm扫描波长范围：190—500nm

2400线/mm扫描波长范围：190—800nm

4320线/mm扫描波长范围：180—435nm

步进电机驱动*小步距

0.0006 nm

出射狭缝

12μm入射狭缝：10μm

10μm入射狭缝：8μm

光电转换器技术指标

光电倍增管规格

R293或R928

R293

光电倍增管负高压

0-1000V稳定性＜0.05% 

整机技术指标

扫描波长范围

195nm～500nm（3600L/mm光栅）

195nm～800nm（2400L/mm 光栅）

185nm～435nm（4320/mm光栅）

重复性（即短期稳定度）

相对标准偏差RSD≤1.5％

稳定性

相对标准偏差RSD≤2％